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一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置,在不改变原干涉仪光路的前提下实现之前不可测量的局部陡度面形误差的测量。利用双光楔补偿器,放置在在局部陡度面形误差的区域,旋转双光楔补偿器的相对转角和整体绕光轴滚转角,产生方向可调的附加倾斜...该专利属于北京理工大学;中国人民解放军国防科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京理工大学;中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。
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一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置,在不改变原干涉仪光路的前提下实现之前不可测量的局部陡度面形误差的测量。利用双光楔补偿器,放置在在局部陡度面形误差的区域,旋转双光楔补偿器的相对转角和整体绕光轴滚转角,产生方向可调的附加倾斜...