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加速度传感器芯片制造技术
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文档序号:2625665
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提供在组件内容易进行布局,并且检测灵敏度良好的加速度传感器芯片。加速度传感器芯片(10)具有:框架部(12)、可动构造体(14)和多个限制器(19),框架部(12)具有框架体部(12c)和突起部(12d),可动构造体(14)具有被共计四个梁...
该专利属于冲电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过冲电气工业株式会社授权不得商用。
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