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一种双轴谐振式微机械加速度计制造技术
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文档序号:2625638
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双轴谐振式微机械加速度计包括基片、质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、音叉、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为中心对称图形,通过一个质量块敏感两个正交方向的加速度,质量块呈“回”字型,质量块中间是悬臂梁、杠杆放大机构、音叉、齿枢和驱动电极、检...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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