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本发明包括一种制造三轴加速计的方法。具有第一和第二主表面的第一晶片，在第一晶片的第一主表面上蚀刻至少两个空腔，将金属在第一晶片的第一主表面上形成图案以形成用于第三加速计的电连接。第二晶片，蚀刻第二晶片的第一主表面的一部分，将第一晶片的第一主...
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