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基于微机械系统的非热式流速流向传感器是一种利用微机械系统加工的，含有支撑梁和阻流体的电容式流速流向传感器，该传感器在衬底（７）上设有阻流体（２），在阻流体（２）的圆心设有一个固定在衬底（７）上的支柱（１），支柱（１）与阻流体（２）的内圆周之...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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