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基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器是一种利用掺杂压阻的正交支撑梁进行检测的压阻式流速流向传感器。该传感器由立柱（１）、正交支撑梁（２）、ＳＯＩ硅衬底（３）组成，ＳＯＩ硅衬底（３）为一个中空的矩形，在ＳＯＩ硅衬底（３）中空部分的上部设有...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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