下载可自动调节放肩工艺参数的单晶炉及控制方法的技术资料

文档序号:26254987

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本发明提供一种可自动调节放肩工艺参数的单晶炉,包括:晶体提拉模块、机器视觉直径测量模块和温度控制模块;所述提拉系统包括:转轴、连接在转轴上的绕线轮和一端连接在绕线轮上的软轴;所述软轴的另一端与晶体连接,在拉制单晶的工作过程中,转轴带动绕线轮...
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