下载纳米电极对及其制备方法的技术资料

文档序号:26254951

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本发明涉及纳米电极对及其制备方法,包括以下步骤:在衬底上热氧化处理制备二氧化硅层,旋涂一层抗蚀剂,得到基材;在上述基材上通过微纳米加工方法制备一对双层金属电极对,其中,上层金属电极材料应采用金属活动顺序表中位于下层金属电极材料之前的金属;在...
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