下载蚀刻液及其制备方法的技术资料

文档序号:26254912

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本发明属于蚀刻技术领域,尤其涉及一种蚀刻液及其制备方法。本发明提供的蚀刻液包含有浓度大于或等于5g/L的蚀刻剂,蚀刻剂选自酸性盐或碱性盐;酸性盐选自磷酸二氢盐和/或硫酸氢盐;碱性盐选自碳酸盐、碳酸氢盐、亚硫酸盐、乙酸盐、磷酸盐和次氯酸盐中的...
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