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本发明公开了一种金属基材碳纳米膜材料制造设备包括真空反应炉、高频电源、供气装置以及抽真空装置，同时还公开基于上述设备的金属基材碳纳米膜制备方法，利用碳元素化学气相沉积法及碳元素磁控溅射法在金属基材表面生成一层具有SP...
该专利属于河北美普兰地环保科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北美普兰地环保科技有限公司授权不得商用。

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