下载一种BOE蚀刻液的技术资料

文档序号:26254355

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本发明公开了一种BOE蚀刻液,按照质量百分比包括以下组分,氢氟酸2%~15%、氟化铵5%~45%、硝酸2%~9%、醋酸0.5%~2%、超纯水26%~90%和渗透剂0.5%~3%;所述的蚀刻液中注入有氢气。本发明通过在蚀刻剂中通入微量氢气,对...
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