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本发明涉及微机械电子技术领域，具体是一种压阻式高ｇ值加速度计。解决了现有压阻式加速度计结构不能同时满足固有频率高、灵敏度高、能承受较高的横向加速度等特性要求的问题，该加速度计包括固定于玻璃底板上的硅基框架、弹性梁、以及通过弹性梁支悬于硅基框...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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