温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种晶圆清洗机，涉及晶圆加工领域。该晶圆清洗机，包括装置主体，所述装置主体的内底部固定连接有清洗台，所述装置主体的内底部且位于清洗台的两侧均设置有滑轨，所述滑轨的表面且靠近前端与后端均滑动连接有滑动板，所述滑动板的上表面均固定连接...
该专利属于江苏无恙半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏无恙半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。