下载微阵列芯片加工装置及加工方法的技术资料

文档序号:26250575

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本发明属于微流控技术领域,公开一种微阵列芯片的加工装置及加工方法,加工装置包括:基板,所述基板上设置有目标点阵和微流道,所述目标点阵用于附着不同种类的目标基团;所述微流道用于目标基团溶液流通,依次流经所有所述目标点阵;掩膜,覆盖所述基板,设...
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