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本发明公开了一种硅微谐振式加速度计，它由制作在单晶硅片上的加速度计结构的上层部分和制作在玻璃衬底上的信号线的下层部分所组成，加速度计上层机械结构由质量块、一对完全相同的谐振器和杠杠组成，谐振器上下对称布置在质量块的中间，谐振器的一端与固定基...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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