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角速度传感器用振动体制造技术
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文档序号:2624890
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振动体(1)具备:具有振动片(7)和支撑部(5)的振子(2)、和安装该振子的安装基材(11)。安装基材具有支撑部的底座部(13)和基底部(12)。底座部(13)具有距离基底部至少振动片的振动幅度以上的高度的阶梯差并且具备曲线形状的边缘部(1...
该专利属于西铁城控股株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过西铁城控股株式会社授权不得商用。
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