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本实用新型涉及一种氮化镓生长加热炉,属于氮化镓生产设备技术领域。氮化镓生长加热炉包括炉体和支撑座,炉体设置于支撑座上,炉体的两侧分别为进气端和生长杆插入端,进气端设有进气法兰密封,生长杆插入端设有封口法兰,封口法兰的中部固定有生长杆,所述炉...该专利属于山东科恒晶体材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东科恒晶体材料科技有限公司授权不得商用。
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