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单晶炉热场装置及单晶炉制造方法及图纸
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文档序号:26239611
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本实用新型公开单晶炉热场装置及单晶炉。该单晶炉热场装置,包括:热屏,所述热屏在其中心形成有气流通道;换热部件,所述换热部件设置在所述气流通道内,并围合地形成提拉通道;所述热屏用于设置在坩埚的上方;所述热屏具有底部,所述底部至少部分地阻挡在所...
该专利属于华坪隆基硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华坪隆基硅材料有限公司授权不得商用。
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