下载一种用于半导体生产过程中的抛光装置的技术资料

文档序号:26234906

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本实用新型公开了一种用于半导体生产过程中的抛光装置,包括箱体,箱体的内腔安装有气缸一,箱体的上方设置有支撑架,支撑架底部的两侧均固定焊接有横板,横板的顶部贯穿设置有导向杆,导向杆的底端与箱体焊接,两个横板相互靠近的一侧均焊接有抛光筒,抛光筒...
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