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本实用新型公开了一种等离子刻蚀尾气处理装置，风机通过进风管与等离子刻蚀腔连接，风机通过出风管与尾气处理箱的侧壁连接，尾气处理箱的内壁顶部设有喷头，尾气处理箱底部设有排液口，排液口通过排液管连接有过滤箱，过滤箱通过回液管连接有处理液箱，处理液...
该专利属于江苏国源激光智能装备制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏国源激光智能装备制造有限公司授权不得商用。

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