一种等离子刻蚀尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种等离子刻蚀尾气处理装置，风机通过进风管与等离子刻蚀腔连接，风机通过出风管与尾气处理箱的侧壁连接，尾气处理箱的内壁顶部设有喷头，尾气处理箱底部设有排液口，排液口通过排液管连接有过滤箱，过滤箱通过回液管连接有处理液箱，处理液箱内盛放有处理液，处理液箱通过电机与喷头连接，排液口还连接有排气管，该装置结构简单、方便实用环保，尾气进入尾气处理箱内与喷头喷洒的处理液充分接触，使得尾气中的有害物质处理的更彻底，锥形的尾气处理箱底部使得颗粒物不会在底部淤积，而且排气管设置在排液口处更使得未处理的尾气不会逸出，处理液再经过滤箱过滤后经电机从新抽送到喷头内喷出，使得处理液可以充分利用。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子刻蚀尾气处理装置
本技术属于等离子刻蚀
，特别涉及一种等离子刻蚀尾气处理装置。
技术介绍
等离子刻蚀是利用射频电源使反应气体生成反应活性高的离子和电子，对二氧化硅晶片进行物理轰击及化学反应，以选择性的去除部分区域，被刻蚀的物质变成挥发性的气体，经抽气装置抽离进入尾气处理装置。等离子刻蚀产生的尾气中包含未反应气体，反应中间产物及反应产生物质等，直接排入大气会造成污染，需要经过尾气处理装置处理后才可以排入大气。现有的等离子刻蚀的尾气处理装置在尾气进入处理装置后，尾气直接通入处理液中然后经排气管排出，因为尾气在处理液中以气泡形式存在，导致尾气与处理液接触不充分会使得尾气中的污染大气物质处理不彻底，排入大气中还会造成一定程度的污染。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种等离子刻蚀尾气处理装置，解决现有的等离子刻蚀的尾气与处理液接触不充分会使得尾气中的污染大气物质处理不彻底，排入大气中还会造成一定程度的污染的问题。本技术采用如下技术方案：一种等离子刻蚀尾气处理装置，包括等离子刻蚀腔、风机、尾气处理箱和处理液箱，所述风机通过进风管与等离子刻蚀腔连接，所述风机通过出风管与所述尾气处理箱的侧壁连接，所述尾气处理箱的内壁顶部设有喷头，所述尾气处理箱底部设有排液口，所述排液口通过排液管连接有过滤箱，所述过滤箱通过回液管连接有处理液箱，所述处理液箱内盛放有处理液，所述处理液箱通过电机与所述喷头连接，所述排液口还连接有排气管。进一步的，所述喷头至少有两个，多个喷头喷洒更全面，不留死角。进一步的，所述喷头均匀分布在尾气处理箱的内壁顶部，喷水均匀，更充分的处理尾气中的有害物质。进一步的，所述尾气处理箱底部呈倒置圆锥状，使得杂质不会再尾气处理箱底部淤积。进一步的，所述过滤箱内设有滤网，过滤处理液中的较大颗粒，防止堵塞喷头。本技术的优点在于：该装置结构简单、方便实用环保，尾气进入尾气处理箱内与喷头喷洒的处理液充分接触，使得尾气中的有害物质处理的更彻底，锥形的尾气处理箱底部使得颗粒物不会在底部淤积，而且排气管设置在排液口处更使得未处理的尾气不会逸出，处理液再经过滤箱过滤后经电机从新抽送到喷头内喷出，使得处理液可以充分利用，更环保，节约成本。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的过滤箱结构示意图。图中，1-等离子刻蚀腔、2-风机、3-尾气处理箱、4-处理液箱、5-进风管、6-出风管、7-喷头、8-排液口、9-排液管、10-过滤箱、11-回液管、12-电机、13-排气管、14-滤网。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。实施例：如图1和图2所示，一种等离子刻蚀尾气处理装置，包括等离子刻蚀腔1、风机2、尾气处理箱3和处理液箱4，风机2通过进风管5与等离子刻蚀腔1连接，风机2通过出风管6与尾气处理箱3的侧壁连接，尾气处理箱3的内壁顶部设有喷头7，尾气处理箱3底部设有排液口8，排液口8通过排液管9连接有过滤箱10，过滤箱10通过回液管11连接有处理液箱4，处理液箱4内盛放有处理液，处理液箱4通过电机12与喷头7连接，排液口8还连接有排气管13。进一步的优化，喷头7至少有两个，多个喷头7喷洒更全面，不留死角，喷头7均匀分布在尾气处理箱3的内壁顶部，喷水均匀，更充分的处理尾气中的有害物质。尾气处理箱3底部呈倒置圆锥状，使得杂质不会再尾气处理箱底部淤积。过滤箱10内设有滤网14，过滤处理液中的较大颗粒，防止堵塞喷头。工作过程：等离子刻蚀产生的包含未反应气体，反应中间产物及反应产生物质等的尾气先通过风机抽送至尾气处理箱内，尾气在尾气处理下内与喷头7喷洒的处理液充分反映，去除尾气中的杂质，经过处理的尾气从排液口处的排气管排出，带有杂质的处理液从排液口进入过滤箱内，过滤箱内的处理液经滤网过滤和沉积去除处理液中的杂质，去除杂质后的处理液经回液管回到处理液箱，再经过电机抽送至喷头内喷出去除尾气中杂质。显然，以上所描述的实施方式仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于：包括等离子刻蚀腔、风机、尾气处理箱和处理液箱，所述风机通过进风管与等离子刻蚀腔连接，所述风机通过出风管与所述尾气处理箱的侧壁连接，所述尾气处理箱的内壁顶部设有喷头，所述尾气处理箱底部设有排液口，所述排液口通过排液管连接有过滤箱，所述过滤箱通过回液管连接有处理液箱，所述处理液箱内盛放有处理液，所述处理液箱通过电机与所述喷头连接，所述排液口还连接有排气管。/n

【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于：包括等离子刻蚀腔、风机、尾气处理箱和处理液箱，所述风机通过进风管与等离子刻蚀腔连接，所述风机通过出风管与所述尾气处理箱的侧壁连接，所述尾气处理箱的内壁顶部设有喷头，所述尾气处理箱底部设有排液口，所述排液口通过排液管连接有过滤箱，所述过滤箱通过回液管连接有处理液箱，所述处理液箱内盛放有处理液，所述处理液箱通过电机与所述喷头连接，所述排液口还连接有排气管。


2.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈正，刘昭，周亮亮，
申请(专利权)人：江苏国源激光智能装备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32