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一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：该装置由波导－同轴转换（１）、同轴腔（２）、带重入柱的ＴＭ↓［０１０］谐振腔（３）连接构成；同轴腔（２）的内导体（２１）深入到ＴＭ↓［０１０］谐振腔（３）中，并通过高压引入结构（２２...
该专利属于中国科学院金属研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。

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