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个别包括电容器及晶体管的存储器单元阵列及形成此类阵列的方法技术
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文档序号:26228205
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本发明揭示一种个别包括电容器及晶体管的存储器单元阵列,其包括第一层级中的数字线及导电屏蔽线的交替列。在所述第一层级上方的第二层级中,存在晶体管字线的行。在所述第二层级上方的第三层级中,存在电容器的行及列。在所述第三层级上方的第四层级中,存在...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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