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本发明描述了一种用于训练图案化过程的深度学习模型的方法。该方法包括获得(i)训练数据，该训练数据包括具有多个特征的衬底的至少一部分的输入图像和真实图像；(ii)类别集，每个类别对应于输入图像内衬底的多个特征的特征；和(iii)深度学习模型，...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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