下载布线图形检查装置的技术资料

文档序号:2622783

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提供一种布线图形的检查装置,通过组合利用反射照明和反射照明的检查,能够缩短检查时间。利用带传送机构(10)向检查部(1)传送TAB带(5)上的图形(5a),从透射照明装置(1a)照射照明光,用CCD线性传感器(1c)摄取图形(5a)的透射照...
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