下载保持装置的技术资料

文档序号:2622772

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本发明提供保持装置,其设有:放置玻璃基板(1)的保持本体(4);设置在保持本体上所放置的玻璃基板的下方、将玻璃基板从保持本体托起、并下降到保持本体上的升降机构(10);在由升降机构将玻璃基板从保持本体托起的状态下、使样品回转的回转机构(10...
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