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质量测量的装置和方法制造方法及图纸
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文档序号:2622729
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质量测量的装置1包括振子2,用于激发振子2中的基振的驱动装置3A、3B、3C和3D,用于探测振子2中的振动位移的探测装置4A和4B,和能够吸附探测物质的吸附薄膜5。质量是基于在质量未测时,从探测装置4A和4B获得的振动位移探测值和在该质量测...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。
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