下载质量测量的装置和方法的技术资料

文档序号:2622729

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

质量测量的装置1包括振子2,用于激发振子2中的基振的驱动装置3A、3B、3C和3D,用于探测振子2中的振动位移的探测装置4A和4B,和能够吸附探测物质的吸附薄膜5。质量是基于在质量未测时,从探测装置4A和4B获得的振动位移探测值和在该质量测...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。