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文档序号:26226132
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本发明提供一种谐振器,其包括基底、沿第一方向设置于基底的复合膜以及设置于复合膜靠近基底一侧的纵向声波反射器;复合膜包括沿第一方向依次设置的第一电极、压电功能膜以及第二电极,第一电极设置于基底和纵向声波反射器之上;横向声波反射器的内侧面沿第一...
该专利属于瑞声科技(南京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞声科技(南京)有限公司授权不得商用。
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