温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种选择性发射极P型单晶硅片的制备方法,包括:选取P型单晶硅片,对硅片进行碱制绒;将硅片进行磷扩散,在硅片表面形成N型层;硅片正面开槽;去除硅片边缘PN结,去除硅片正面磷硅玻璃;经过退火炉形成氧化保护膜;沉积硅片背面氧化铝钝化层...该专利属于天津爱旭太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津爱旭太阳能科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种选择性发射极P型单晶硅片的制备方法,包括:选取P型单晶硅片,对硅片进行碱制绒;将硅片进行磷扩散,在硅片表面形成N型层;硅片正面开槽;去除硅片边缘PN结,去除硅片正面磷硅玻璃;经过退火炉形成氧化保护膜;沉积硅片背面氧化铝钝化层...