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本申请提供一种阵列基板及其制造方法、显示装置，制造方法包括如下步骤：于阵列基板上形成钝化层，阵列基板包括薄膜晶体管以及导电垫，钝化层覆盖薄膜晶体管以及导电垫；于钝化层形成上形成整面的碳膜；采用一次构图工艺对碳膜以及钝化层进行图案化以去除导电...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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