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本发明属于电极探测技术领域，公开了一种点状三维球状超小电容半导体探测器模型及应用，探测器模型中央电极的半径约为10微米，球状外围电极的宽度约为10微米，探测器的半径约为60微米。硅体即球体，可以是n型或者p型硅基，电极由1×10...
该专利属于鲁东大学所有，仅供学习研究参考，未经过鲁东大学授权不得商用。

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