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本发明属于太赫兹功率测量技术领域，提供了一种基于热补偿的传感器，所述传感器在内部新增设置了补偿端，其中工作端和补偿端具有相同的波导结构和传感芯片，并且在补偿端和工作端之间增加了包围着第一波导和第二波导的第一铜片和第二铜片作为热短路结构；因此...
该专利属于中国计量科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量科学研究院授权不得商用。

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