一种基于热补偿的传感器制造技术

本发明专利技术属于太赫兹功率测量技术领域，提供了一种基于热补偿的传感器，所述传感器在内部新增设置了补偿端，其中工作端和补偿端具有相同的波导结构和传感芯片，并且在补偿端和工作端之间增加了包围着第一波导和第二波导的第一铜片和第二铜片作为热短路结构；因此，使工作端和补偿端的传感芯片具有相同的热结构，从而对于环境温度变化具有相同的响应，则可以通过补偿端的直流偏置功率变化得到任意时刻工作端的初始直流偏置功率，从而根据补偿端的直流偏置功率变化与工作端的初始直流偏置功率的对应关系，对工作端的初始直流偏置功率进行补偿，降低因温度变化等因素而导致对太赫兹功率测量的误差，从而可提高太赫兹功率测量的精确度。

【技术实现步骤摘要】
一种基于热补偿的传感器
本专利技术涉及太赫兹功率测量
，尤其涉及一种可提升太赫兹功率测量精确度的热补偿传感器。
技术介绍
太赫兹(TeraHertz，THz)是波动频率单位之一，又称为太赫，或太拉赫兹，用于表示电磁波频率，是一种新的、有很多独特优点的辐射源；太赫兹技术是一个非常重要的交叉前沿领域，给技术创新、国民经济发展和国家安全提供了一个非常大的机遇，可能引发科学技术的革命性发展。太赫兹波是指频率在0.1～10THz(波长为3000～30μm)范围内的电磁波，太赫兹波的波长处于微波及红外光之间，因此在应用方面，相对于其他波段的电磁波具有非常强的互补特征。与微波、毫米波相比，太赫兹探测系统可以获得更高的分辨率，具有突出的抗干扰能力和独特的反隐身能力；太赫兹系统具有视场范围宽、搜索能力好、适用于恶劣气象条件等优点。太赫兹波所具有的优越特性使其具有非常重要的学术和应用价值，也使得世界各国都对太赫兹科学技术研究和应用给予了极大的关注。太赫兹测量是太赫兹技术的产学研用各个环节的技术基础，太赫兹功率是太赫兹器件、部件、仪器、系统的基本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于热补偿的传感器，其特征在于，包括：/n外壳；/n所述外壳内部设置工作端和补偿端，所述工作端包括第一波导和第一传感芯片，所述补偿端包括第二波导和第二传感芯片；/n第一铜片和第二铜片，所述第一铜片和所述第二铜片均包围着所述第一波导和所述第二波导；/n所述第一波导与所述第二波导相同，所述第一传感芯片与所述第二传感芯片相同，其中，所述第一传感芯片包括第一热敏电阻，所述第二传感芯片包括第二热敏电阻。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于热补偿的传感器，其特征在于，包括：
外壳；
所述外壳内部设置工作端和补偿端，所述工作端包括第一波导和第一传感芯片，所述补偿端包括第二波导和第二传感芯片；
第一铜片和第二铜片，所述第一铜片和所述第二铜片均包围着所述第一波导和所述第二波导；
所述第一波导与所述第二波导相同，所述第一传感芯片与所述第二传感芯片相同，其中，所述第一传感芯片包括第一热敏电阻，所述第二传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔孝海，袁文泽，谷若晨，丁晟，吴昭春，赵巍，刘潇蒙，贾超，
申请(专利权)人：中国计量科学研究院，
类型：发明
国别省市：北京;11