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一种薄膜微参比电极的制备方法技术
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文档序号:2622102
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一种制备薄膜微参比电极的方法,其特征是利用化学镀和电镀相结合的方法沉积银层,包括对玻璃基体表面进行清洗,利用光刻的方法加工制得带有电极形状的薄膜;用玻璃刻蚀液进行刻蚀,用敏化反应溶液对刻蚀过的基体表面进行敏化;用化学镀进行银层的沉积,对化学...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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