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一种具有压差补偿功能的气体传感器，其组成为：硅基片上制作有两个完全相同且相邻的杯状感压结构，每个杯状感压结构包括一个感压膜片和在其周围起支撑作用的基座，感压膜片中分布有四个应变电阻并相连构成惠斯通电桥；其中一个杯状感压结构顶部的感压膜片的上...
该专利属于西南交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西南交通大学授权不得商用。

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