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本发明提供了一种宽面高利用率矩形阴极靶，包括软铁底板及设置在软铁底板上的中心磁钢，包围中心磁钢的同向多道环形磁钢。环形磁钢的磁场面与软铁底板呈10‑15°的倾角；最外环形跑道磁钢与中心磁钢等高，且由外向内环形跑道磁钢按照每道3㎜的阶梯降低；...
该专利属于中国科学院兰州化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院兰州化学物理研究所授权不得商用。

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