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本申请公开了一种用于半导体器件接合的对准载具和对准系统,涉及具有高精度和高可扩展性的面板级封装(PLP)。PLP采用具有低膨胀系数的对准载具,该对准载具被构造有具有局部半导体器件对准标记的半导体器件区域。例如,为每个半导体器件附接区域设置局...该专利属于PYXISCF私人有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过PYXISCF私人有限公司授权不得商用。
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