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本实用新型提供一种能节省空间、动作紧凑，能避免粒子沾附的晶圆传送盒清洗设备及系统。清洗设备包括前、后机台；前机台包含第一架体、第一水平位移机构、翻转机构、吸取装置、第一垂直位移机构、前清洗槽、前清洗装置及第一隔离壁装置；后机台包含第二架体、...
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