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本实用新型涉及离子辐照分析技术领域，且公开了原位电子显微镜离子辐照损伤光学特征深度分布分析装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有支撑台，所述支撑台的顶部固定安装有摄像模块。该原位电子显微镜离子辐照损伤光学特征深度分布分析装置，通过对样品本...
该专利属于南通励思仪电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通励思仪电子科技有限公司授权不得商用。

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