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本实用新型晶粒双面同时等光程成像且等照度照明的检测装置，该装置包括在垂直光路方向上依次设置的相机、远心成像镜头、合像光学元件和半导体晶粒，所述合像光学元件与半导体晶粒之间的两侧部设有梯形转像棱镜，半导体晶粒的两个侧面分别通过梯形转像棱镜、合...
该专利属于泉州师范学院所有，仅供学习研究参考，未经过泉州师范学院授权不得商用。

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