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室内粒子侦测系统。大体而言，本发明实施例提供一种改进的室内粒子源确认机制，从而满足了需求。该原位室内粒子源确认方法和设备可以极大的缩短用于确认室内粒子源的时间，能提高用于生产系统的处理室生产能力。该方法和设备也可以用于在工程研制阶段检测元件...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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