下载一种晶圆涂胶治具的技术资料

文档序号:26189190

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶圆涂胶治具,包括伺服电机、抽气泵、底座和架体,所述底座的顶端安装有架体,且底座顶端中间位置处架体的内部安装有基座,所述架体底部的两端皆设置有立柱,所述基座内部底端的中间位置处安装有伺服电机,且基座顶端的中间位置处安装有...
该专利属于锐捷芯盛(天津)电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过锐捷芯盛(天津)电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。