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提供用于测量半导体薄膜工艺中的气体的装置。该装置包括置于薄膜工艺环境内的光学谐振器，用于以该气体的特征频率激励谐振器的可调谐激光器和用于检测谐振器内能量的检测器。...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。

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