下载基于静电力驱动的微结构谐振双侧弯曲疲劳试验装置的技术资料

文档序号:2618841

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一种基于静电力驱动的微结构谐振双侧弯曲疲劳试验装置,包括:电极、与电极连接的侧臂和设置于侧臂上的梳齿;其特征在于:    其中电极(1)连接交流电,通过该电极的底电极层(24)和至少两组与侧臂成为一体的固定梳齿(5)(6)连接;另一个电极(...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。

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