下载基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置的技术资料

文档序号:2618840

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一种基于静电力驱动的微结构谐振单向弯曲疲劳试验装置,包括有电极、和与电极相连接的固定梳齿和悬置梳齿;其特征在于:    所述的固定梳齿(3)的侧壁(8)与连接交流电的电极(1)相连;所述的悬置梳齿(4)通过连接梁(5)及固定于基底的固定块(...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。

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