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一种用于涂覆基板(2)的磁控溅射源(1)，所述溅射源(1)包括：在前侧处具有靶表面的靶(5)；在所述靶(5)的背侧处的磁控布置(511、512)，用于在所述靶表面附近产生磁场，以在所述靶表面处在内部磁体组件(512)和外部磁体组件(511)...该专利属于欧瑞康表面解决方案普费菲孔股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过欧瑞康表面解决方案普费菲孔股份公司授权不得商用。
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