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本发明提供一种具有优异的透明性、良好的水蒸气阻隔性能、以及耐化学试剂性的透明氧化物层叠膜及其制造方法、以及使用该透明氧化物层叠膜的透明树脂基板。一种透明氧化物层叠膜，将多层含有Zn和Sn的透明氧化物膜层叠而成，所述透明氧化物层叠膜由各层中Z...
该专利属于住友金属矿山株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友金属矿山株式会社授权不得商用。

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