下载具有不同高度的组合件的梯度微机电系统麦克风的技术资料

文档序号:26178884

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在至少一个实施方案中,提供了微机电系统(MEMS)麦克风组合件。所述组合件包括外壳、单微机电系统(MEMS)换能器、衬底层和应用壳体。所述单MEMS换能器被定位在所述外壳内。所述衬底层支撑所述单MEMS换能器。所述应用壳体支撑所述衬底层并且...
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