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具有不同高度的组合件的梯度微机电系统麦克风技术方案
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下载具有不同高度的组合件的梯度微机电系统麦克风的技术资料
文档序号:26178884
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在至少一个实施方案中,提供了微机电系统(MEMS)麦克风组合件。所述组合件包括外壳、单微机电系统(MEMS)换能器、衬底层和应用壳体。所述单MEMS换能器被定位在所述外壳内。所述衬底层支撑所述单MEMS换能器。所述应用壳体支撑所述衬底层并且...
该专利属于哈曼国际工业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过哈曼国际工业有限公司授权不得商用。
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