具有不同高度的组合件的梯度微机电系统麦克风技术方案

在至少一个实施方案中，提供了微机电系统(MEMS)麦克风组合件。所述组合件包括外壳、单微机电系统(MEMS)换能器、衬底层和应用壳体。所述单MEMS换能器被定位在所述外壳内。所述衬底层支撑所述单MEMS换能器。所述应用壳体支撑所述衬底层并且界定第一传输机构的至少一部分以使得所述单MEMS换能器的第一侧能够接收音频输入信号且界定第二传输机构的至少一部分以使得所述单MEMS换能器的第二侧能够接收所述音频输入信号。

Gradient MEMS microphone with assembly of different heights

【技术实现步骤摘要】
具有不同高度的组合件的梯度微机电系统麦克风本申请是申请号为201510379940.0，申请日为2015年7月2日，专利技术名称为“具有不同高度的组合件的梯度微机电系统麦克风”的中国专利申请的分案申请。
本文所公开的各方面一般涉及麦克风诸如基于梯度的微机电系统(MEMS)麦克风，用于形成定向和噪声消除麦克风。MEMS麦克风可布置有不同的组合件以适应几何限制诸如可用高度、端口取向、角落安置等。
技术介绍
双单元MEMS组合件在Michel等的美国公布No.2012/0250897(’897公布)中进行阐述。除了别的外，′897公布还公开使用了至少两个MEMS换能器的换能器组合件。该换能器组合件界定全向麦克风或定向麦克风。除了至少第一和第二MEMS换能器外，该组合件还包括电连接至MEMS换能器的信号处理电路、电连接至信号处理电路的多个终端垫和容纳第一和第二MEMS换能器的换能器外壳。MEMS换能器可使用线接合或倒装芯片设计电连接至信号处理电路。信号处理电路可包括离散电路或集成电路。第一和第二MEMS换能器可串联或并联电连接至信号处理电路。第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电系统(MEMS)麦克风组件，其包括：/n外壳；/n微机电系统(MEMS)换能器，其被定位在所述外壳内；/n衬底层，其用于支撑所述MEMS换能器；以及/n第一耦合层，其包围所述外壳的至少一部分并且耦合至应用壳体。/n

【技术特征摘要】
20140703 US 14/323,5951.一种微机电系统(MEMS)麦克风组件，其包括：
外壳；
微机电系统(MEMS)换能器，其被定位在所述外壳内；
衬底层，其用于支撑所述MEMS换能器；以及
第一耦合层，其包围所述外壳的至少一部分并且耦合至应用壳体。


2.如权利要求1所述的麦克风组件，其中所述衬底层被定位在所述第一耦合层下方。


3.如权利要求1所述的麦克风组件，其还包括定位在所述第一耦合层下方的第二耦合层，其中所述第一耦合层和所述第二耦合层界定第一传输机构的至少一部分和第二传输机构的至少一部分。


4.如权利要求3所述的麦克风组件，其中所述应用壳体限定第一声音孔径和第二声音孔径，并且其中所述第一声音孔径和所述第二声音孔径中每一个沿第一轴延伸以接收音频输入信号。


5.如权利要求4所述的麦克风组件，其中所述第一传输机构包括第一声管且所述第二传输机构包括第二声管，其中所述第一声管沿所述第一轴延伸并被定位在与所述第一声音孔径同一平面上以从所述第一声音孔径接收所述音频输入信号，并且其中所述第二声管沿所述第一轴延伸并被定位在与所述第二声音孔径同一平面上以从所述第二声音孔径接收所述音频输入信号。


6.如权利要求3所述的麦克风组件，其中所述第二耦合层包括壁，所述壁使得所述第一传输机构的所述至少所述部分与所述第二传输机构的所述至少所述部分隔开。


7.如权利要求3所述的麦克风组件，其中所述第一传输机构的所述至少所述部分包括形成于所述应用壳体的第一端的第一声音孔径和形成于所述应用壳体的第二端的第二声音孔径。


8.如权利要求7所述的麦克风组件，其中所述第一耦合层被定位在所述应用壳体的所述第一端与所述应用壳体的所述第二端之间。


9.如权利要求7所述的麦克风组件，其还包括定位在所述第一声音孔径周围的第一声阻元件和定位在所述第二声音孔径周围的第二声阻元件。


10.如权利要求7所述的麦克风组件，其中所述衬底层界定第一声孔洞和第二声孔洞，并且其中所述第一声音孔径垂直于所述第一声孔洞且所述第二声音孔径垂直于所述第二声孔洞。


11.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：M里斯，J鲍姆豪尔，F李，S艾拉克利亚诺斯，
申请(专利权)人：哈曼国际工业有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US