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本发明提供一种能够精确检测待检测对象的电极装置、半导体装置和半导体系统。根据一个实施例，电极装置11被用于检测互电电容系统的电容，并且包括接收电极PR1、面对接收电极PR1布置的发射电极PX1、面对接收电极PR1布置的发射电极PX2，使发射...
该专利属于瑞萨电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过瑞萨电子株式会社授权不得商用。

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